智能制造与高端装备突破是中国由制造大国向制造强国迈进的必由之路。为对接“中国智造”和上海建设具有全球影响力的科创中心的目标任务，上海市经信委组织编写了《上海智能制造与高端装备——政策?案例?平台?项目》，加大对重点企业和典型案例的宣传工作力度，积极推进企业、项目、平台等优势智能制造资源进一步向重点园区聚集发展。中央“千人计划”专家刘劲松创办的微松科技的“微球植球机”入选。

微球植球机是微松科技经过2年的市场调研并立项，前后经历了5年的产学研联合攻关。目前两大系列、六个品种的对应不同IC工艺的20余台套装备投放市场，打破了国外产品在国内芯片厂的长期垄断。微松公司投入研发的国际首创植检补智智能制造产线已完成论证，进入详细设计阶段。随着一批公司自主研发的技术转化为产品的不断推进，中国在中后道IC制造装备的国际地位必将不断提升，最终使微松成为引领国际芯片中后道制造装备发展方向的重要力量之一。

入选经信委《上海智能制造与高端装备》名录后，微松科技的“微球植球机”将作为该领域的前沿技术典型，通过集中展览展示、







































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